Крутые фишки
Минайчев В.Е. — Нанесение пленок в вакууме. Технология полупроводниковых приборов и изделий микроэлектроники. Книга 6
- Раздел: КНИГИ, УЧЕБНИКИ » Радиоэлектроника
| - Опубликовано: 20-07-2012, 15:17
Рассмотрены вопросы нанесение пленок методами термического испарения, ионно-плазменного распыления; контроль параметров пленок и технологических режимов их нанесения; оборудование для нанесения пленок; электровакуумная гигиена и техника безопасности.
Название: Нанесение пленок в вакууме. Технология полупроводниковых приборов и изделий микроэлектроники. Книга 6
Автор: Минайчев В.Е.
Издательство: Высшая школа
Год: 1989
Страниц: 110
Язык: русский
Формат: djvu
Размер: 3.1 Мб
Метки: Электроника, Издательство «Высшая школа», Электроника 1989 года, Минайчев В Е, Электроника в DJVU, Язык: Русский
- Комментарии [0]
- Просмотров: 414
|
Поделитесь с друзьями:
Похожие публикации:
Комментарии:
Посетители, находящиеся в группе Гости, не могут оставлять комментарии к данной публикации.