Кузьмичев А.И. — Магнетронные распылительные системы. Кн. 1. Введение в физику и технику магнетронного распыления

Рассмотрены физические основы магнетронного распыления и разновидности магнетронных систем для нанесения тонких пленок и покрытий различного назначения, в том числе системы с усиленной ионизацией газовой среды и импульсные магнетронные распылительные системы.
Для научных и инженерно-технических работников, аспирантов и студентов высших технических заведений, специализирующихся в области электронных физико-технических устройств и ионно-плазменных технологий для электроники, оптики и машиностроения.

Название: Магнетронные распылительные системы. Кн. 1. Введение в физику и технику магнетронного распыления
Автор: Кузьмичев А.И.
Издательство: Аверс
Формат: pdf
Год: 2008
Язык: русский
Cтраниц: 244
Размер: 11 мб